摩擦磨损后的摩擦副表面的表面形貌、表面晶体结构及化学成分等都发生了变化，因此，在研究摩擦磨损的过程中，观察分析摩擦表面和亚表面的微观结构非常重要。磨损表面形貌分析测试仪器主要包括光学显微镜、扫描电子显微镜、透射电子显微镜及激光共焦扫描显微镜等。磨损表面结果分析有各种衍射技术，如X射线衍射分析仪、电子衍射、场离子显微镜。表面化学成分分析常用的仪器有俄歇电子能谱仪、X射线光电子能谱仪、电子探针及能谱仪等。
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